全球声学滤波器技术发展趋势

一、TCSAW 对于声表面波器件来说，对温度非常敏感。在较高温度下，衬底材料的硬度易于下降，声波速度也因此下降。由于保护频带越来越窄，并且消费设备的指定工作温度范围较大（通常为℃至℃），因此这种局限性的影响越来越严重。 一种替代方法是使用温度补偿（TCSAW）滤波器，它是在IDT的结构上另涂覆一层在温度升高时刚度会加强的涂层。温度未补偿SAW器件的频率温度系数（TCF）通常约为ppm/℃，而TCSAW滤波器则降至到ppm/℃。但由于温度补偿工艺需要加倍的掩模层，所以，TCSAW滤波器更复杂、制造成本也相对更高。 目前TCSAW技术越来越成熟，国外大厂基本都有推出相应产品，在手机射频前端取得不少应用，而国内的工艺仍需要摸索。 二、高频SAW 普通SAW基本上是GHz以下，村田开发出克服以往声表面波弱点的 I.H.P.SAW（Incredible High PerformanceSAW）。村田意将SAW技术发挥到完美（GHz以下），目前量产的频率可达.GHz。 图I.H.P.SAW的基本结构 I.H.P.SAW可以实现与BAW相同或高于BAW的特性，并兼具了BAW的温度特性、高散热性的优点，具体如下： （） 高Q值：在.GHz频带上的谐振器试制结果显示，其Q值特性的峰值超过了，比以往Qmax为左右的SAW得到了大幅度的改善。 （）低TCF：它通过同时控制线膨胀系数和声速来实现良好的温度特性。以往SAW的TCF转换量非常大（约为ppm/℃），而 I.H.P.SAW可将其改善至±ppm/℃以下。 （）高散热性：向RF滤波器输入大功率信号后IDT会产生热量，输入更大功率则可能因IDT发热而破坏电极，从而导致故障。 I.H.P.SAW可将电极产生的热量效能高地从基板一侧散发出去，可将通电时的温度上升幅度降至以往SAW的一半以下。低TCF和高散热性两种效果，使其在高温下也能稳定工作。 三、新型体声波滤波器 目前市面上的体声波滤波器基本上基于多晶薄膜工艺。而初创公司Akoustis Technologies, Inc.发明的Bulk ONE? BAW技术是采用单晶AlNonSiC谐振器，据称性能能够提升%。 图单晶硅BAW技术针对高频应用 Akoustis技术公司(前称为Danlax,Corp.)是根据美国内华达州法律于年月日注册成立，总部设在北卡罗来纳州的亨茨维尔。年月日，公司更名为Akoustis技术公司。年月，登陆纳斯达克。 目前Akoustis已经宣布推出了三款商用滤波器产品：其中一款是用于三频WiFi路由器应用的商用. GHz BAW RF滤波器；第二款是针对雷达应用的. GHz BAW RF滤波器；第三款AKF 是针对未来G LTE和G移动设备. GHzBAW RF滤波器 四、封装微型化 滤波器的封装微型化主要是指的是采用晶圆级封装技术。 Qorvo的CuFlig互联技术使用铜柱凸点代替线焊。晶圆级封装滤波器取消了陶瓷封装，可以实现尺寸更小，设备更轻薄。 图CuFlip技术相对于线焊的比较优势 RF公司DSSP（DieSized SAW Packaging，裸片级声表封装）和TFAP技术（ThinFilm Acoustic Packaging，薄膜声学封装技术)，实现了产品微型化，并可提供in，甚至in的滤波器模组。 不同产品类别的新的标准封装尺寸：双工器.mm*.mm，in滤波器：.mm*.mm，单一滤波器：.mm*.mm。 图RF声表滤波器、双工器和多工器的微型化 图 DSSP封装图解 图 采用TFAP技术的BAW滤波器 五、射频前端集成化模块化 国际大厂一直致力于射频前端的集成化及模块化，比如高通RF方案；Murata将滤波器、RF开关、匹配电路等一体化的模块；Qorvo RF Fusion解决方案等。 高通POPD设计采用先进的D封装技术，单一封装内集成了单芯片多模功率放大器和天线开关（AS），并将滤波器和双工器集成到一个单一基底中，然后将基底置于基础组件之上，整合成一个单一的“D”芯片组组合，从而降低了整体的复杂性，摒弃了当今射频前端模块中常见的引线接合。 图高通射频POP D设计CMOS前端 Qorvo RFFusion解决方案包含三种模块化解决方案，实现高、中、低频段频谱区域全覆盖。各模块都集成了功率放大器 (PA)、开关和滤波器。 图 Qorvo 多模块组成的 RF Fusion解决方案 伊莱专业致力于滤波器、电抗器、变压器的研发及制造，并提供谐波治理、无功补偿、电磁干扰等电能质量一体化解决方案。**提供电磁兼容设计整改技术咨询，主营各种型号电源端口和抗干扰遏制的滤波防护组件。伊莱也是年出名滤波器厂家之一，十分注重技术开发和技术创新，在用户中一直享有较高声誉。 （文章来源于网络，版权归原作者，侵删）

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